| 是否进口：否 | 加工定制：否 | 品牌：STIL |
| 型号： CCS PRIMA+ |
| 型号 | CCC PRIMA/CCS OPTIMA+ |
|---|---|
| 测量模式 | 位移/厚度 |
| 采样频率 | 100-2000Hz/100Hz-10000Hz |
| 编码器信号输入 | 最多3轴-TTL信号输入 |
| 校准表（值） | 20 |
| 光源 | 白色LED光源 |
| 数字量输出 | 30bits分辨率 |
| 模拟量输出 | 2路[0-10V]-16bit分辨率） |
| 数字信号输出 | USB2.0/RS232/RS422 |
| I/O同步接口 | 输入输出TTL同步 |
| 通道选择 | 1/2/4 |
| 工作温度 | 5℃-40℃ |
| 存储温度 | -30℃-70℃ |
| 防水等级 | IP40 |
| 尺寸 | 162*111.5*124mm |
| 控制器重量 | 1400g |
| 电源等级 | 24V DC/20V |
STIL光谱共焦传感器测量头技术参数
| 型号 | CL0-MG210 | CL0-MG140 | CL1-MG210 | CL1-MG140 | CL2-MG210 | CL2-MG140 | CL2-MG70 | CL3-MG140 | CL3-MG70 | CL4-MG35 | CL4-MG20 | CL5-MG35 | CL5-MG20 | CL6-MG35 | CL6-MG20 |
| 测量范围（mm） | 0.1 | 0.1 | 0.15 | 0.15 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 1.4 | 1.4 | 4 | 4 | 12 | 12 | 24 | 24 |
| 工作距离（mm） | 2.7 | 2.7 | 3.3 | 3.3 | 10.8 | 10.8 | 10.8 | 12.2 | 12.2 | 16.5 | 16.5 | 26.6 | 26.6 | 20 | 20 |
| 数值孔径 | 0.75 | 2.69 | 0.71 | 0.71 | 0.46 | 0.46 | 0.46 | 0.41 | 0.41 | 0.32 | 0.32 | 0.2 | 0.2 | 0.12 | 0.12 |
| 可测倾角（°） | 42.5 | 42.5 | 42 | 42 | 28 | 28 | 28 | 25 | 25 | 21 | 21 | 14 | 14 | 8.5 | 8.5 |
| 轴向出光 | 标配 | ||||||||||||||
| 90度径向出光 | 可选配 | ||||||||||||||
| 线性误差（μm） | 0.016 | 0.014 | 0.025 | 0.02 | 0.05 | 0.05 | 0.045 | 0.15 | 0.13 | 0.3 | 0.25 | 0.75 | 0.8 | 1.6 | 1.2 |
| 静态噪音（nm） | 5 | 6 | 7 | 8 | 17 | 20 | 25 | 50 | 60 | 110 | 135 | 370 | 425 | 750 | 800 |
| 轴向分辨率（μm） | 0.021 | 0.025 | 0.042 | 0.048 | 0.102 | 0.1 | 0.15 | 0.3 | 0.36 | 0.66 | 0.81 | 2.22 | 2.35 | 4.5 | 4.8 |
| 横向分辨率（μm） | 0.9 | 1 | 1.1 | 1.3 | 1.7 | 1.8 | 3.7 | 2.6 | 4.5 | 4.6 | 7 | 11 | 14 | 11 | 18 |
| 光斑尺寸（μm） | 1.8 | 2.2 | 2.7 | 3.5 | 4 | 4 | 8.8 | 6.8 | 11.9 | 12.3 | 19.9 | 24.3 | 40 | 26.8 | 43 |
| 光度效率 | 0.5 | 1.7 | 3.3 | 10 | 2.8 | 7.9 | 41 | 10 | 57 | 25 | 91 | 33 | 100 | 9.8 | 43 |
| 最小可测厚度（μm） | 5 | 5 | 7.5 | 9 | 14 | 14 | 22 | 38 | 40 | 110 | 120 | 350 | 550 | 590 | 725 |
| 长度（mm） | 263.6 | 229 | 243.8 | 209.4 | 243.3 | 208.9 | 176.1 | 208.9 | 176.1 | 145.5 | 130 | 145.4 | 130 | 171 | 155.6 |
| 直径（mm） | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 |
| 重量（g） | 227 | 192 | 268 | 195 | 248 | 190 | 189 | 215 | 214 | 155 | 140 | 175 | 160 | 195 | 180 |
(1)表中给出的数值是典型值，CL0，CL2，CL3，CL4有±3%的偏差；CL1，CL5，CL6有±6%的偏差,；
(2)可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的可测倾角可达87。：
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程远端光斑更大，从中心分别到近端远端差异10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量，是相对单位量，此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时，选择低光度收集率的型号，为了避免饱和，测量扩散或低反射的样品时，选择具有高光度收集率型号，以避免一个非常低的信号与噪声比例；
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心，以的速率进行测量，内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量，并对应交付每个传感器的校准证书；
(6)线性误差是由1nm精度的编码器做比较校准，由所述传感器测量距离时，在整个测量范围内的误差。使用以下设置：自动适应LED模式，***的速度，倾角为0。，内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量，并***每个传感器的校准证书交付；
(7)在的速度下，测量范围的中心，测量的典型值，不加平均。折射率=1.5个样本（测量空气间隙应除以1 5的厚度时）；
(8)可测半径为测头直径加工作距离。
注：以上参数如有变化，恕不另行通知。
